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クリスター®再結晶シリコン・カーバイトは選び抜かれたグレードのシリコン・カーバイド粒と高純度シリコンから精製された高純度、高強度、耐化学薬品性のセラミックスです。その耐久性、安定性は他の材料に比べ非常に優れており、半導体プロセス用として１２インチ対応の横型ならびに縦型SiC製品を含む、あらゆる用途に最適の特性を有しています。 |
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製品概要 |
クリスター®は、高温・低温どちらの用途にも最適です。高温用途では、その優れた強度と寸法制度により、自動化機器への使用での長寿命・高信頼性を提供します。LPCVDでの低温用途においては、クリスター®はポリシリコンやシリコン・ナイトライドの堆積物に対して適度な熱膨張特性を示し、パーティクルの発生することなく、石英よりも長期間、膜成長が可能です。 |
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クリスター®の耐久性と長寿命の意味するところは、稼働率の向上、操業コストの低減、歩留まり向上です。クリスター®は熱サイクルの繰り返しや酸洗浄の後でもガラス状になったり、フレークを発生したりしません。なぜなら、シリコンとシリコン・カーバイドの熱膨張率は酷似しており、クリスター®はウエハに対してピンチングやストレスを起こしたりしないからです。 |
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| 材料特性 |
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単位
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石英
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密度
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gm/㎝３ |
3.00 |
3.21 |
2.20 |
| 気孔率 |
% |
<1 |
0 |
<1 |
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| 弾性率 |
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| 熱伝導率 |
W/m/℃ : 1000℃ |
36 |
70 |
4 |
| 熱膨張係数 |
/℃ : 室温～1000℃
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4.8×10-6 |
4.0×10-6 |
5.0×10-6 |
| 電気抵抗 |
Ω : 室温 |
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![[社ロゴ]](gif/TKBS-logo.gif){kind=logo}
