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”CRYSTAR®"は、サンゴバン株式会社が製造する
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再結晶炭化シリコン製品の登録商標です。 |
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| クリスター®製品は、唯一世界中の全ての半導体製造装置用炉メーカーより認定いただいたSiC製品です。そしてSiCグレイン(パウダー)から製品まで各工程を厳しい品質管理の下に一貫生産しております。SiC製品のCVDコーティングは全てのクリスター®製品に適用されます。更に、洗浄を施すことによりクリスター®製品は使用前初期洗浄不要の“Ready−To−Install”を実現しました。 |
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| 300mmコラムボート |
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| カンチレバーパドル |
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| プロセスチューブ ライナーチューブ |
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| ロングボート |
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| コンティギュアスボート |
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| マストランスファーウェーハーボート |
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| フレキシブルバッフル |
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株式
会社 |
東京興業貿易商会 |
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03-3436-4526 |
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