BriskHeatR ジャケットヒーターシステム
半導体配管 最適化の重要アイテム
副生成物付着防止・供給ガスのヒーティング
排気配管、ガス供給配管、バルブ、機器、除害装置配管
|
|
|
|
|
|
|
 |
|
主な特長・機能 |
|
|
|
|
|
|
|
・多重絶縁構造のアース付きフレキシブル発熱エレメントは安全性が高く丈夫です |
|
|
|
・コールドスポットがなく、温度均一性にすぐれています |
|
|
|
・半導体装置用のクリーンルーム用途を目的とした低発塵性タイプがあります |
|
|
|
・フレキシブルで脱着性、フィット感がよい |
|
|
|
・CEマーク、UL認定などのApprovalsがあります |
|
|
|
・ワールドワイドで豊富な実績があります |
|
|
|
|
|
|
|
Centipede専用の温調 & モニターシステム |
|
|
|
|
|
|
|
・通信機能で各ジャケットヒーターの温度制御とモニターをします |
|
|
|
・各ジャケット毎のPID制御でさらに温度均一性を高めます |
|
|
|
・異常箇所はすぐわかります |
|
|
|
・１台でジャケットヒーター40ヶ分をモニターします |
|
|
|
・PCとの接続が可能です |
|
|
|
・コンパクトで場所をとりません |
|
|
|
・温度制御線、電源供給線、モニター費を低減します |
|
|
|
|
|
|
|
メリット |
|
|
|
|
|
|
|
・ダウンタイムを減らします |
|
|
|
・洗浄費用を低減します |
|
|
|
・機器への接触事故を防ぎます |
|
|
|
・副生成物の飛散を抑え、作業環境を改善します |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
  |
![[社ロゴ]](../gif/TKBS-logo.gif){kind=logo}
